在加工微小精（jīng）密零件時，必須充分考慮到可能使裝配（pèi）係（xì）統產生定位誤差的因（yīn）素，控製裝配係（xì）統（tǒng）的定位精度。
此外，當前獲得複雜微小精密零件的超精密加工方（fāng）法主要有兩種，一種是微機（jī）電係統技術(MEMS)，另外一種是從傳統機械製造技術發展而來的微細製造技（jì）術。
無論采用哪種技術，都需要先（xiān）進的（de）測（cè）量裝置（zhì）及方法，因為零件加工精度的提高對測量水平的提高具有嚴格的依賴性。
微小精密零件在結構形式、構件材料和加工工藝（yì）等方麵具有以下特點：
構成（chéng）材料主（zhǔ）要是金屬、合金或者複合材料等非矽材料，這些材料具有優（yōu）秀的機械特性，如高強度、高硬度、耐磨損、抗過載、耐高溫或耐腐蝕等（děng），能在惡劣工況條件下正常工作。
微小（xiǎo）精密零（líng）件（jiàn）廣泛存在於各種微小型係統，包括框架、壁、腔（qiāng）體、軸、槽、輪、孔係等多種結構形式，市場需求量大。
指整體（tǐ）尺度在（zài）毫米級，很難利用常規方法加工的小型（xíng）零件。
以準三維或三維的立體結構為（wéi）主的（de）結構形式（shì），深寬比（bǐ）高或長徑比大。
結構複雜，空間緊湊（còu），各個部件之（zhī）間存在確（què）定的連（lián）接、傳動或裝配關係，對形狀和位置的精度要求非常高，對（duì）於零件表麵的精密度要求較（jiào）低，不一（yī）定要納入納米級別。
